Fabrication of 3D metallic photonic crystal by X-ray lithography / ROMANATO F; BUSINARO L; VACCARI L; CABRINI S; CANDELORO P; DE VITTORIO M; PASSASEO A; TODARO MT; CINGOLANI R; CATTARUZZA E.; GALLI M; ANDREANI C; DI FABRIZIO E. - In: MICROELECTRONIC ENGINEERING. - ISSN 0167-9317. - 67-68:(2003), pp. 479-486. [10.1016/S0167-9317(03)00104-7]
Autori: | ||
Data di pubblicazione: | 2003 | |
Titolo: | Fabrication of 3D metallic photonic crystal by X-ray lithography | |
Rivista: | MICROELECTRONIC ENGINEERING | |
Digital Object Identifier (DOI): | http://dx.doi.org/10.1016/S0167-9317(03)00104-7 | |
Volume: | 67-68 | |
Appare nelle tipologie: | 2.1 Articolo su rivista |
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