JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY. B, NANOTECHNOLOGY & MICROELECTRONICS

Informazioni generali
	Titolo
	
					JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY. B, NANOTECHNOLOGY & MICROELECTRONICS
				
	Cris ID
	
					journal109254
				
	Codice ANCE
	
					E234398
				
	Nazione
	
	ISSN
	
					2166-2746
				
	Lingua
	
	Tipo
	
Rivista

	Editore
	
					New York, NY : AVS through the American Institute of Physics, c2010-
				
	Anno di inizio
	
					2010
				
	Anno di fine
	
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